1200-PE60 PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品描述

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。

該型號(hào)PECVD綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。

技術(shù)參數(shù)

管式爐（加熱部分）參數(shù)介紹
爐膛模式	開啟式爐膛
顯示模式	7英寸觸摸屏
極限溫度	1200℃
工作溫度	≤1150℃
升溫速率	建議10℃/Min Max：30℃/Min
爐體移動(dòng)	無(wú)極調(diào)速，根據(jù)工藝自動(dòng)移動(dòng)
輔助預(yù)熱	加熱區(qū)200mm（足夠長(zhǎng)度才能保證溫度準(zhǔn)確度）
溫區(qū)長(zhǎng)度	440mm（沉積區(qū)），200mm（預(yù)熱區(qū)）
爐管規(guī)格	80*2000 mm
控溫精度	±1℃
密封方式	快捷法蘭連接密封
溫度曲線	30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
控制系統(tǒng)	加熱控制、爐體移動(dòng)、流量控制、真空系統(tǒng)按照設(shè)定一鍵自動(dòng)完成整個(gè)工藝處理
預(yù)存曲線	可預(yù)存15條工藝曲線，直接保存并隨時(shí)調(diào)用
測(cè)溫元件	K型熱電偶
爐膛材料	高純氧化鋁纖維
加熱材料	摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲
射頻電源功率
信號(hào)頻率	13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍	0-500W
功率穩(wěn)定度	±0.1%
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
控制方式	預(yù)先設(shè)定功率大小，自動(dòng)運(yùn)行
真空部分
真空度控制	自動(dòng)平衡到用戶設(shè)定真空度。
正壓保護(hù)	工作腔內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，大于設(shè)定值自動(dòng)放氣
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	500W
抽氣速率	2L\s
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
轉(zhuǎn)速	1450rpm
系統(tǒng)真空度	≤10Pa
三路供氣系統(tǒng)
流量計(jì)類型	質(zhì)子流量控制器
準(zhǔn)確度	±0.35%
重復(fù)精度	±0.2%
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
氣路管道	304不銹鋼
連接接通	雙卡套不銹鋼接頭
氣體種類	氮?dú)?、氬氣、甲烷、二氧化碳、氫氣等等?0～500sccm）
進(jìn)氣控制	每路氣體均可定時(shí)通斷，根據(jù)工藝自動(dòng)切換所需氣體